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弹性发射抛光
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弹性发射加工 百度百科
弹性发射加工(elastic emission machining,EEM)采用浸液工作方式，利用在工件表面高速旋转的聚氨酯小球带动抛光液中粒度为几十纳米的磨料，以尽可能小的人射角冲击工件表面，通过磨粒 2021年9月18日 本文总结了弹性发射加工技术的国内外研究现状及最新进展，归纳了弹性发射加工技术的原理，包含流体特 性、抛光颗粒运动特性和化学特性，弹性发射加工装备，影响弹 李佳慧,侯溪,张云,王佳,钟显云 弹性发射光学制造技术研究 2021年10月7日 弹性发射加工技术是从原子量级上提升光学元件表面中高频粗糙度的有效手段，可以实现超高精度平面和复杂曲面的制造，能够满足未来先进光源和极紫外光刻等现代光学 弹性发射光学制造技术研究进展加工2021年1月22日 本文总结了弹性发射加工技术的国内外研究现状及最新进展，归纳了弹性发射加工技术的原理，包含流体特性、抛光颗粒运动特性和化学特性，弹性发射加工装备，影响弹性发射加工技术表面粗糙度提升和材料去除效率的因 弹性发射光学制造技术研究进展2022年5月23日 基于球体弹性发射加工方式设计流体驱 动抛光球，通过Fluent软件对抛光区流场仿真，分析了流体速度以及工件表面压力和剪切力分 布，从抛光间隙、工具球直径及主轴转 Ultraprecision Machining 超精密加工 光学元件超光滑表面 2006年5月22日 弹性发射加工是一种可以获得较高的加工精度和较低的表面粗糙度的超精密研磨方法。 其加工原理如图1 所示(图1 略)。 加工时使用聚氨脂球作加工头,在高速旋转的加工头与 超精密研磨抛光方法 bearing
超精密研磨抛光方法
2016年8月12日 弹性发射加工是一种可以获得较高的加工精度和较低的表面粗糙度的超精密研磨方法。 其加工原理如图1所示。 加工时使用聚氨脂球作加工头，在高速旋转的加工头与被加工 2021年10月7日 本文总结了弹性发射加工技术的国内外研究现状及最新进展，归纳了弹性发射加工技术的 原理，包含流体特性、抛光 颗粒运动特性和化学特性，弹性发射加工装备，影响弹 弹性发射光学制造技术研究进展光学加工与制造光行天下 2021年2月22日 弹性发射 加工技术是一种去除函数稳定，超低亚表面缺陷，面向原子级的超光滑加工方法，可以作为加工上述精度要求光学元件 的手段。弹性发射光学制造技术研究进展 百度文库2021年10月8日 弹性发射加工（Elastic Emission Machining）是 一种超精密抛光加工方法，常作为光学表面的最后一道 抛光工序，光学表面在经过EEM抛光后表面粗糙度可 以达到纳米级甚 弹性发射数控抛光系统设计及搭建 百度文库2021年11月12日 文章编号 0951531（01）05108915弹性发射光学制造技术研究进展李佳慧1，侯 溪1 *，张 云1，王 佳1，钟显云1（1 中国科学院光电技术研究所，四川 成都 61009； 中国科学院大学，北京 ）摘要：深紫外光刻、极紫外光刻和先进光源等现代光学工程需求牵引先进光学制造技术持续发展，要求超光滑 弹性发射光学制造技术研究进展 道客巴巴2021年1月22日 本文总结了弹性发射加工技术的国内外研究现状及最新进展，归纳了弹性发射加工技术的原理，包含流体特性、抛光颗粒运动特性和化学特性，弹性发射加工装备，影响弹性发射加工技术表面粗糙度提升和材料去除效率的因 弹性发射光学制造技术研究进展
超精密研磨抛光方法 bearing
2006年5月22日 21 基于机械作用的超精密研磨抛光方法 基于机械作用的超精密研磨抛光方法是依靠微细磨粒的机械作用对被加工表面 进行微量去除，达到高精度的加工表面。 211 弹性发射加工 弹性发射加工是一种可以获得较高的加工精度和较低的表面粗糙度的超精密研2021年10月7日 2 弹性发射加工技术材料去除机理 弹性发射加工技术(Elastic Emission Machining，EEM)是由日本大阪大学的Mori等人在20世纪70年代提出的一种原子量级的超光滑抛光技术。弹性发射光学制造技术研究进展加工2021年10月17日 流体动压抛光基于流体剪切效应可实现非接触微去除，可获得粗糙度1 nm以下的超光滑表面，在先进光学及微电子材料加工领域有很好应用前景。基于球体弹性发射加工方式设计流体驱动抛光球，通过Fluent软件对抛光区流场仿真，分析了流体速度以及工件表面压力和剪切力分布，从抛光间隙、工具球 光学元件超光滑表面的流体动压抛光特性研究2021年12月30日 本文充分调研了弹性发射加工技术及装备的国内外研究现状并展望了未来的可能发展方向。2 弹性发射加工技术材料去除机理 弹性发射加工技术(Elastic Emission Machining，EEM)是由日本大阪大学的Mori等人在20世纪70年代提出的一种原子量级的超光滑抛光弹性发射光学制造技术研究进展 Powered by Discuz!2007年1月19日 目前，纳米级光滑表面的抛光加工方法有很多，如传统的机械干式抛光和湿式抛光、弹性发射抛光、动压浮离抛光、电场和磁场抛光、磁流变抛光(MRF)、湿式化学机械抛光、干式化学抛光、固着磨料抛光等。我国突破纳米抛光新工艺中国科学院2016年11月9日 摘要： 本实用新型提供一种弹性发射抛光装置,包括抛光柱自转单元和工件自转单元,抛光柱自转单元包括抛光柱、抛光柱自转驱动结构和抛光柱升降结构,抛光柱自转驱动结构包括自转轴、电机、同步轮、同步带、轴承、支撑臂；抛光柱升降结构包括横梁、导轨、导轨固定梁和气缸；工件自转单元 一种弹性发射抛光装置 百度学术
超精密研磨抛光方法
2016年8月12日 21 基于机械作用的超精密研磨抛光方法 基于机械作用的超精密研磨抛光方法是依靠微细磨粒的机械作用对被加工表面进行微量往除，达到高精度的加工表面。 211 弹性发射加工 弹性发射加工是一种可以获得较高的加工精度和较低的表面粗糙度的超精密研磨2021年10月8日 行弹性发射加工，且实验表明经过该装置弹性发射抛光 后工件表面粗糙度有所降低。 4 结语 弹性发射加工作为一种超精密抛光方法，优点是在 合适的抛光参数下可以使工件表面粗糙度达到纳米级甚 至亚纳米级。弹性发射数控抛光系统设计及搭建 百度文库本文总结了弹性发射加工技术的国内外研究现状及最新进展,归纳了弹性发射加工技术的原理,包含流体特性、抛光颗粒运动特性和化学特性,弹性发射加工装备,影响弹性发射加工技术表面粗糙度提升和材料去除效率的因素,分析了弹性发射加工技术面临的问题,展望了ScienceChina 中国科学文献服务系统2010年1月21日 132数控非球面柔性制造技术 数控加工设备的应用实现了非球面的快速成型、粗磨。CCSL、浅低温抛光、弹性发射加工抛光ElasticEmissionMachining简称EEM、磁流变。广州市久锐化工科技有限公司 主要有弹性发射加工EEM、浮动研磨、磁力研磨等。弹性发射加工eem设备2023年6月25日 弹性发射加工（EEM）是获得超光滑表面的最有效技术之一。抛光轮将抛光颗粒供给到工件表面的特定位置，与工件发生化学反应，实现材料的无损去除。然而，抛光轮与浆料之间的相互作用以及原子去除机制仍不清楚。在这项研究中，在三维状态下考虑抛光轮和浆料之间的相互动态相互作用，并建立 弹性发射加工材料去除的滚动模型分析,International Journal of 2016年11月9日 该实用新型采用抛光柱自转和工件自转的方式，适用于大口径超光滑光学元件弹性发射抛光，可消除抛光纹路，提高抛光效率、面形精度及降低表面粗糙度，减少表面损伤。 CNU 一种弹性发射抛光装置 Google Patents CNU 一种弹性发射抛光装置 Google Patents
弹性发射光学制造技术研究进展
2021年1月22日 本文总结了弹性发射加工技术的国内外研究现状及最新进展，归纳了弹性发射加工技术的原理，包含流体特性、抛光颗粒运动特性和化学特性，弹性发射加工装备，影响弹性发射加工技术表面粗糙度提升和材料去除效率的因 弹性发射加工是基于流体动力润滑效应获取超光滑表面的一种重要方式，但是目前该方法在进一步改善粗糙度上遇到瓶颈，本文为了突破这一问题，对双转弹性发射加工技术进行系统研究，主要研究内容包括： (1)根据装置所需性能，对双转弹性发射加工装置进行设计。基于流体动力润滑效应的双转弹性发射加工技术研究学位万方 2023年12月13日 基于光学镜片的研磨抛光的精密需求，目前又发展出了新的加工技术，如 数控研磨和抛光技术、应力盘抛光技术、超光滑表面加工技术、延展性磨削加工、弹性发射抛光 一文读懂光学镜片抛光工艺（建议收藏）摘要： 本文根据弹性发射加工特点以及其精度要求,搭建了一套用于弹性发射加工的装置,并对抛光过程中的抛光正压力和抛光距离进行了分析,通过对石英玻璃进行抛光实验验证了本装置可以用于弹性发射加工,且抛光后石英玻璃表面粗糙度有所降低弹性发射数控抛光系统设计及搭建 百度学术2014年6月25日 粗糙度Ra012nm。弹性发射抛光由于弹性发射抛光法加工范围有 限，去除量很低。工件的去除速率与磨料驻留实践呈线性关系，材料 允许的总去除厚度小于20nm。浴法抛光能获得高精度的表面，工件 的热变形和抛光模的热塑性流动都非常小。低压磨料水射流复合超声振动游离磨料抛光技术及其实验研究 豆丁网2019年6月2日 0 引言 为解决机械抛光和化学机械抛光过程中磨粒与工件表面刚性接触，造成抛光表面产生细微划痕以及损伤层的难题，国内外学者提出了弹性发射抛光、浮法抛光、动压浮离抛光等非接触抛光加工方法，有效改善了传统抛光加工的刚性接触状态，将磨粒与工件的接触转变为准接触或者非接触 [1]。液动压悬浮抛光流场的数值模拟及抛光工具盘结构优化
原子级表面的先进抛光方法：综述,Materials Today
2024年5月20日 在这篇综述中，讨论了先进的抛光方法，例如化学机械抛光（CMP）、弹性发射加工（EEM）、离子束抛光（IBF）、磁流变抛光（MRF）、等离子辅助抛光（PAP）、超声波和光催化抛光、电化学抛光、气泡辅助抛光。2021年10月8日 弹性发射数控抛光系统设计及搭建在静止状态下受力如图4左图所示，可得到： (2)在抛光过程中受力状态如图4右图所示，由于压电 陶瓷伸长范围小于100μm，远小于L1、L2、L3的长度， 故可认为FS、F0、F1到A点力臂距离始终分别为L3、 L2、L1 弹性发射数控抛光系统设计及搭建 百度文库2020年6月10日 难以通过单一加工方法加工满足各种加工质量指标要求的光学元件。光学平面研磨和抛光 超 精密磨削 的范围很广，主要包括机械磨削、弹性发射 加工、浮动磨削等加工方法。光学平面磨削技术通常是指利用硬度高于待 光学平面研磨抛光加工简介 知乎2015年11月16日 现在世界各国研究人员正致力 于超光滑表面加工新方法及其加工机理的研究工作，并且提出了许多先进的特种加工方 法（计算机控制小磨头抛光、浴法抛光、液体喷射抛光、浮法抛光、弹性发射加工、离 子束抛光、化学机械抛光等），不仅使光学元件的表面质量弹性发射加工中磨粒群运动特性的研究 豆丁网2014年8月13日 日本和韩国对弹性发射加工技术进行了一些研究,但其研究范围主要集中在 弹性发 射加工的工艺上,对弹性发射加工中抛光区的固液两相流中磨粒运动的研究 甚少,韩国大连理工大学硕士学位论文 虽然对弹性发射加工中磨粒的运动进行了理论研究,但并没有考虑多 的弹性发射加工中磨粒群运动特性的研究（可编辑） 豆丁网2024年6月17日 基于机械作用的超精密研磨抛光方法是依靠微细磨粒的机械作用对被加工表面 进行微量去除，达到高精度的加工表面。 211、弹性发射加工 弹性发射加工是一种可以获得较高的加工精度和较低的表面粗糙度的超精密研磨方 几种超精密研磨抛光方法的加工原理、特点、加工对
弹性发射光学制造技术研究进展光学加工与制造光行天下
2021年10月7日 本文总结了弹性发射加工技术的国内外研究现状及最新进展，归纳了弹性发射加工技术的 原理，包含流体特性、抛光 颗粒运动特性和化学特性，弹性发射加工装备，影响弹性发射加工技术表面粗糙度提升和 材料 去除效率的因素，分析了弹性发射加工技术面临的2019年6月17日 技术，其中，弹性发射加工、磁流变抛光和化学机械 抛光等得到了良好的应用。这些抛光方法中弹性发 射加工[3]可以获得超光滑无损表面，但材料去除量 为原子级，效率极低；磁流变抛光[4]适用于各种复 杂曲面的抛光，但磁流变液价格昂贵，成本高内循环式非牛顿流体抛光单晶硅的仿真与试验研究2023年3月27日 软质磨粒机械抛光 (弹性发射加工)。加工原理实质是磨粒原子的扩散作用和加速的微小粒子弹性射击的机械作用的综合效果。 6 化学机械抛光。化学机械抛光是一种利用研磨液的腐蚀作用和磨粒的机械作用双重作用的研磨 超精密抛光技术上海脉诺金属表面处理技术有限公司2021年11月12日 文章编号 0951531（01）05108915弹性发射光学制造技术研究进展李佳慧1，侯 溪1 *，张 云1，王 佳1，钟显云1（1 中国科学院光电技术研究所，四川 成都 61009； 中国科学院大学，北京 ）摘要：深紫外光刻、极紫外光刻和先进光源等现代光学工程需求牵引先进光学制造技术持续发展，要求超光滑 弹性发射光学制造技术研究进展 道客巴巴2021年1月22日 本文总结了弹性发射加工技术的国内外研究现状及最新进展，归纳了弹性发射加工技术的原理，包含流体特性、抛光颗粒运动特性和化学特性，弹性发射加工装备，影响弹性发射加工技术表面粗糙度提升和材料去除效率的因 弹性发射光学制造技术研究进展2006年5月22日 21 基于机械作用的超精密研磨抛光方法 基于机械作用的超精密研磨抛光方法是依靠微细磨粒的机械作用对被加工表面 进行微量去除，达到高精度的加工表面。 211 弹性发射加工 弹性发射加工是一种可以获得较高的加工精度和较低的表面粗糙度的超精密研超精密研磨抛光方法 bearing
弹性发射光学制造技术研究进展加工
2021年10月7日 2 弹性发射加工技术材料去除机理 弹性发射加工技术(Elastic Emission Machining，EEM)是由日本大阪大学的Mori等人在20世纪70年代提出的一种原子量级的超光滑抛光技术。2021年10月17日 流体动压抛光基于流体剪切效应可实现非接触微去除，可获得粗糙度1 nm以下的超光滑表面，在先进光学及微电子材料加工领域有很好应用前景。基于球体弹性发射加工方式设计流体驱动抛光球，通过Fluent软件对抛光区流场仿真，分析了流体速度以及工件表面压力和剪切力分布，从抛光间隙、工具球 光学元件超光滑表面的流体动压抛光特性研究2021年12月30日 本文充分调研了弹性发射加工技术及装备的国内外研究现状并展望了未来的可能发展方向。2 弹性发射加工技术材料去除机理 弹性发射加工技术(Elastic Emission Machining，EEM)是由日本大阪大学的Mori等人在20世纪70年代提出的一种原子量级的超光滑抛光弹性发射光学制造技术研究进展 Powered by Discuz!2007年1月19日 目前，纳米级光滑表面的抛光加工方法有很多，如传统的机械干式抛光和湿式抛光、弹性发射抛光、动压浮离抛光、电场和磁场抛光、磁流变抛光(MRF)、湿式化学机械抛光、干式化学抛光、固着磨料抛光等。我国突破纳米抛光新工艺中国科学院2016年11月9日 摘要： 本实用新型提供一种弹性发射抛光装置,包括抛光柱自转单元和工件自转单元,抛光柱自转单元包括抛光柱、抛光柱自转驱动结构和抛光柱升降结构,抛光柱自转驱动结构包括自转轴、电机、同步轮、同步带、轴承、支撑臂；抛光柱升降结构包括横梁、导轨、导轨固定梁和气缸；工件自转单元 一种弹性发射抛光装置 百度学术2016年8月12日 21 基于机械作用的超精密研磨抛光方法 基于机械作用的超精密研磨抛光方法是依靠微细磨粒的机械作用对被加工表面进行微量往除，达到高精度的加工表面。 211 弹性发射加工 弹性发射加工是一种可以获得较高的加工精度和较低的表面粗糙度的超精密研磨超精密研磨抛光方法
弹性发射数控抛光系统设计及搭建 百度文库
2021年10月8日 行弹性发射加工，且实验表明经过该装置弹性发射抛光 后工件表面粗糙度有所降低。 4 结语 弹性发射加工作为一种超精密抛光方法，优点是在 合适的抛光参数下可以使工件表面粗糙度达到纳米级甚 至亚纳米级。